1、百級無塵車間0.5微米的最大容許粒子濃度小(xiǎo)於3520(pc/m3),5微米的最(zuì)大容許粒子濃度小於293(pc/m3),就是百級無塵車間0.5微(wēi)米(mǐ)的灰(huī)塵顆粒小於100萬(wàn)個,百級無塵室5微米的灰塵顆粒小於0萬個(不(bú)允許有)。
2、千級無塵車間(jiān)0.5微米的最大容許粒子濃度小於35200(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃(nóng)度小於2930(pc/m3),就是千級無塵車間0.5微米的灰塵(chén)顆粒小於900萬個,千級無塵(chén)車間5微米的灰塵(chén)顆粒小於5萬個。
3、萬級(jí)無塵(chén)車(chē)間0.5微米的最大容許粒子濃(nóng)度小於352000(pc/m3),5微米的最大容許粒子濃度小於29300(pc/m3),就(jiù)是萬級無塵車間0.5微米的灰塵顆粒小於9000萬個,萬級無塵車間5微米的(de)灰塵顆粒小於60萬個。
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