1、高效過濾器(qì)檢測目的和原理
高效過濾(lǜ)器現場安裝(zhuāng)以後檢漏是確認高效過濾器及配套的安裝(zhuāng)靜壓箱,沒有發(fā)現泄漏或微量(liàng)泄漏是在規範允許的範圍之內。如果高(gāo)效過濾器裝置經檢漏是合格的(de),可以確保潔淨室的安全可靠的運行,如此時室內潔淨度仍未達標,應從潔淨室的其它方麵(miàn)查找原因。
高(gāo)效過濾器安裝後的檢漏不同於過濾(lǜ)器廠家在工廠裏的效率測試。後者僅對過濾器的效率和其它相(xiàng)關(guān)性能測試,而前者涉及高效過濾器和安裝過程中相關的多種因素而產(chǎn)生的(de)泄漏。
高效過濾器安裝(zhuāng)後檢漏通常在空態或靜(jìng)態下進行,同時建議在潔淨室風量平衡及正負壓調試以後進行,新建(jiàn)成的(de)潔(jié)淨室或更換終端高效過濾器後均應作檢漏測試。
檢漏時,從(cóng)高效過濾器的上風側引入氣溶(róng)膠,並同時(shí)在高(gāo)效(xiào)過(guò)濾器(qì)的下風側進(jìn)行掃描檢漏,以檢(jiǎn)漏高效過濾器的過(guò)濾介質,密封膠過(guò)濾器(qì)框架,密封(fēng)墊片(piàn)等處有無泄漏。
這裏暫(zàn)不(bú)討論管道內及(jí)空調(diào)器內的高效過濾器檢漏,隻對安(ān)裝在潔淨室終端及相關淨化設備內的高效過濾器的檢漏方(fāng)法作一些簡單的討(tǎo)論。
2、高效過濾器上遊氣溶膠
將冷發霧方法產生的多分散相氣溶膠引入高效(xiào)過(guò)濾(lǜ)器的上風側空(kōng)氣中。使其達到需(xū)要的氣溶膠濃(nóng)度。規(guī)範上要求以大於或等於 0.5μm 的微粒(lì)為準。氣溶膠的材料有 DOP(鄰苯二甲酸二辛(xīn)酯(zhǐ))、PAO(聚乙烯烴)、DOS(葵二酸二辛酯(zhǐ))等,這些氣溶膠的檢漏原(yuán)理是一樣的。
規範上要求高效過濾器上風側的微粒濃度(≥0.5μm)必須大於或等(děng)於 3.5×104 粒子 /L。事實上,在(zài)空調器內發塵,過濾器上風側的濃度較(jiào)難達到要求,必須導入足夠數量的氣溶膠,且長時間地發塵將會影響高效過濾器的使用壽命(mìng)。所以,高(gāo)效(xiào)過濾(lǜ)器的檢(jiǎn)漏(lòu),在(zài)高效過濾器送風口的靜壓箱(xiāng)內(nèi)發塵為,不具(jù)備(bèi)條件的,也可以考慮在送風管上導入DOP
的氣溶膠。
3、高效過濾器檢測等速采樣
在有速度的氣流中采樣,采樣速度應(yīng)等於氣流速度,否則采樣濃度將大於或小於真實濃度,即氣流速度(dù)大於采樣速(sù)度,采(cǎi)樣濃度(dù)將大於真實(shí)濃度,反之,氣流(liú)速度小於采樣(yàng)速度,采樣濃度將小於真實濃度。
假定高效過濾器下實際斷麵(miàn)風速(sù)為 0.45 m/s,圓形取樣口直徑Ds 的計算:
V×1/4×πDs =Fa 2
Fa —— 儀器采樣量,28.3 L/min=472 cm3/s
V —— 過濾器麵風速0.45 m/s
經計算 Ds=36. 5 mm
實際上儀器的(de)取樣口直徑(jìng)為 35 mm 或(huò)正方形30×30 mm,當然取樣口也(yě)可(kě)以是長方形的,經計算此時的采樣速度為0.49 ~0.52 m/s,可以認為是等速采樣(yàng)。
根據國際標準組織 (ISO) 關於潔淨室及相關受控環境的(de)測(cè)試和(hé)測試方法 (ISO14644-3)
中公式計算:Sr ≤ Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中:Sr -探管掃描速率 cm/s;
Cc -被測(cè)過濾器(qì)上風向氣溶膠濃度cm-3 (50粒子/cm3);
Ps -被測過濾器易穿透粒徑大允許整體穿透率;
PL -被測(cè)過濾器的(de)大(dà)允許泄漏;
K -一個因數,表示PL 可能比Ps 大(dà)多少倍;
Dp -平行於掃描方向的探管尺(chǐ)寸(cm),本文使(shǐ)用圓形采樣管,直徑35 mm;
Fs -離散粒子計數器(qì)的(de)標(biāo)準樣品流量,
Fs=472 cm3/s (28.3 L/min);
Np -預期量(liàng),表(biǎo)現出泄漏特征的粒子計數值;
用下式計(jì)算:
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8個,代入Sr式得: Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)
每個測點實際獲得(dé)時間 Ts=Dp/Sr=1 s
所以,采樣口的掃描速率是和上遊粒子濃度穿透率、K 值、采樣口的口徑、采樣流量有(yǒu)著密切的關係。特別需(xū)要指出的是,如采(cǎi)用28.3 L/min 的粒子計(jì)數器和2.83 L/min 的粒(lì)子計數器,他們的(de)掃描速率可(kě)以(yǐ)相差十倍,也就是講,每檢測一個過濾器的時間也相差十倍。
規範要求掃描速率為 5 ~20mm/s ( 其實(shí)這個速率是應(yīng)該根據具體情(qíng)況可以(yǐ)計算調整的,一般建議采用28.3 L/min 的粒子(zǐ)計算器,掃(sǎo)描速率在30
~5mm/s 左右(yòu) )。
規範指出“對於高效過濾器,應不大於過濾器出廠(chǎng)合格透過率的2 倍,對於(yú)超(chāo)高效過濾器,應不大於出廠合格透過率的(de)3 倍。”而根據條文說明的第四節評定標準則相反,高(gāo)效過濾器的透過(guò)率是 3 倍,而超高效過濾器的(de)是2 倍。從提供的數據來看,應該是以條文為準。
如果上遊濃度為 3.5×104 粒子(zǐ)/L,0.5μm 的高效過濾器效(xiào)率是99.99%,下遊濃度為3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計算器檢(jiǎn)測≤ 10 應為(wéi)合格,否則應進行修複,修補總麵積不(bú)能超
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