潔淨室複合氣流特性簡（jiǎn）介

潔淨室複合氣流（liú）特性（xìng）簡（jiǎn）介 

複合類型是（shì）將湍流和（hé）層流合並或合並，可提供局部（bù）超淨空氣。 

（1）清潔隧道：使用HEPA或ULPA過濾（lǜ）器對過程區域或工（gōng）作區域（yù）進行100％的（de）覆蓋（gài），可將清潔度提高到10以上，從而可以節省（shěng）安裝和運營成本。 這種（zhǒng）類（lèi）型（xíng）需要將操作（zuò）員的工作（zuò）區域與產品和機（jī）器維護隔離開，以避免在機器維護期間影（yǐng）響工作和質量。此類型主要用於ULSI流程中。 清潔的隧道還有另外兩個優點：A.靈活的擴展很（hěn）容易； B.設備的維護可以在維護區域輕鬆進行（háng）。 

（2）清潔（jié）管：封閉（bì）並淨化產品加工過程所通過的自動生產線，並將清潔度提高到100以上。由於產品與操作（zuò）員和粉塵產生環（huán）境隔離，因此少量空氣可以獲得良好的清潔度，可以節省能源，最不需要人工的自動化生產線。適用於（yú）製（zhì）藥，食品和半導體行業。 

（3）組合式局部潔（jié）淨室（Clean Spot）：將湍流潔淨室中產品加工區的潔淨度水平從10,000到100,000提高到10到1,000或更（gèng）高；幹淨的工作台，幹淨的工作棚和幹淨的風櫃屬於此類。 無塵工作台：1〜100級。 潔淨（jìng）棚：為了用防靜電透明塑料布在動（dòng）蕩的（de）潔淨室（shì）空間內圍成一小塊（kuài）空間，請（qǐng）使用獨立（lì）的HEPA或ULPA和空調鼓風機單元作（zuò）為更高級別的潔淨（jìng）空間，等級為10〜 1000，高度（dù）約為2.5米，占地麵積小於10m2，可使用四個支柱和附加的可移動輪以提高靈活性。

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