無塵室操作須知

1.處理芯片時，必須戴（dài）上無纖維手套，使用清洗過的幹淨鑷子（zǐ）挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸汙（wū）染過（guò）的（de）芯片須經（jīng）清（qīng）洗，方得繼續使用：

(1)任何一支鑷（niè）子前端(即挾（jiā）持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子（zǐ）掉落地上，必須拿去清洗（xǐ）請勿用紙巾或布擦拭髒鑷子。

(2)芯片清洗後進行下一程序前，若被手指碰（pèng）觸過（guò），必須重新（xīn）清（qīng）洗。

(3)把芯（xīn）片放置於石英舟上（shàng），準備（bèi）進爐管時，若發現所用鑷子有汙損現象或芯片（piàn）上有（yǒu）顯眼由（yóu）鑷（niè）子所引起的汙染，必須將芯片重（chóng）新清（qīng）洗，並立即更換幹淨的鑷子使用。

2.芯片必須放置盒中，蓋起來存放於（yú）規定位置，盡可能（néng）不（bú）讓它（tā）暴露。

3.避免在芯片上談（tán）話，以防（fáng）止唾液濺於芯片上，在芯片進（jìn）擴散（sàn）爐前，請特別注意，防止上述動作產生，若芯（xīn）片上沾有纖維屑時，用氮氣槍噴之。

4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟（zhōu），石英舟（zhōu）(Quartz Boat)等載（zǎi）具(Carrier) 上，取出（chū）芯片時，必須垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上（shàng）移走芯片。

5.芯片上（shàng），若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用鑽石刀在芯片上刻記。

6.操作時，不論是否戴上（shàng）手套（tào），手絕不能放進（jìn）清洗水槽。

7.使用化學站或烤箱處理芯片時，務（wù）必將芯片置（zhì）放於鐵弗龍晶舟內，不（bú）可使用塑（sù）料盒。

8.擺置芯片（piàn）於石英舟時，若芯片掉落地上或手中則必須重新清洗芯（xīn）片，然後再進氧化爐。

9.請勿觸摸芯片盒內部，如被碰觸或有碎芯片汙染，必（bì）須重作清洗（xǐ）。

10. 手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置於操作台，手套若燒焦、磨破或纖維質變多必須換新。

11.非經指示，絕不可開啟（qǐ）不熟（shú）悉（xī）的儀器及（jí）各種開關閥控製（zhì）鈕或把手。

12.奇怪的味道（dào）或反應異常的溶（róng）液，顏色，聲（shēng）響等請即通知相（xiàng）關人員。

13.儀器因操作（zuò）錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。

14.芯（xīn）片盒進出無塵室須保持（chí）幹淨，並以保鮮（xiān）膜封裝，違者（zhě）不得進入。

15.無（wú）塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一（yī）般紙張與鉛筆（bǐ）不得攜入。

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