昌瑞淨化-19年專注工業空氣過濾器定(dìng)製

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我國潔淨室工程(chéng)行業發展(zhǎn)現狀(二)

返回列表 來(lái)源: 發布日期: 2020.08.31
行業技術水平和特點(diǎn)
(1)更高的技術適應性與靈活性(xìng)

科學技術的發展很快,高科技的產品不斷出現,尤其是(shì)電子工業的發展更(gèng)是日新月(yuè)異,像集成(chéng)電路的發展(zhǎn)兩三年就更新一(yī)代。IC芯片的發展遵循“摩爾定律(lǜ)”(Intel 公司創始人之一 Gordon E.Moore 1965 年預言),芯片上可容納的晶體管數目(即(jí)集成度)每18個月(yuè)便可增加1倍。10年(2000年 -2010 年)間我國 IC的(de)主流技術由 5 英寸、6英寸、0.5 μm 以上工藝水平提升到8 英寸 0.18μm~0.25 μm,12 英寸、110 nm~90 nm~65 nm。表征工藝水平的最(zuì)小線寬(kuān)(即特征尺寸 f e a tu r es i z e ),目前已進入納米(n m )級,“中芯(xīn)國際”32/28nm 已取得關鍵技(jì)術突破,將在(zài)“十二五”中期進(jìn)入量產(chǎn)。TFT-LCD 的發展速度更(gèng)快,一二年就上一個台階:北京京東方TFT-LCD薄膜體管液(yè)晶顯示器5代線(基板尺寸(cùn)1100 mm×1300mm)剛投產,即開始建設合肥京東方 6 代線(基板尺寸1500 mm × 1850 mm);不到 2 年又開始北京京東方8.5 代線(基板尺(chǐ)寸(cùn) 2200 mm × 2500mm)的建設。目前中電熊貓正規劃 TFT-LCD 10代線(基板尺寸 2889 mm × 3130 mm)的建設。這就要求為其服務的高級別的潔淨室必(bì)須能適應其發展速度,有極好的靈活性和適應性,以滿足微電子、光電子等(děng)生產工藝不斷發展進步的要求。建造一(yī)個(gè)潔淨廠房投入(rù)成本高,使用時間長,不(bú)是一二年就會拆掉重(chóng)建。因此,在(zài)潔淨(jìng)室設計與建造時必須考慮到生產工藝流(liú)程的不斷發展和變化,使潔淨室具備更好的適應性和靈活性。對(duì)於潔淨室工程行業來說,在施工過程中,或者是在潔淨(jìng)室使用過(guò)程中,都會因為生產工藝流程的改變引起的氣流組織(zhī)、設備(bèi)容(róng)量等方麵的變化而導致設(shè)計的改變,而這種變(biàn)更需要在前期設計時預留(liú)好變更的空間,否則將會為(wéi)後期的改變埋下隱患。

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