隨著28納(nà)米工藝技術的成熟,28納米工藝產品需求量也是日益漸增(zēng)。
同時,隨著“中國製造2025”戰略(luè)的實施,很多高新科技(jì)領域對集成電路的需(xū)求十分巨大,對大規模集成(chéng)電路(lù)的設(shè)計生產、封裝環節要求(qiú)也會越來(lái)越高。
大規模集成電路的製造,利用了各種各樣的設備和工藝技術。專業的技術人員雖然在自己的工藝技術方麵精益求精,但是他們對工藝生產情況並不一定十分了解。
然而(ér),個人負責的設備和工藝生產給潔淨室內的環境帶來的不良影響,他們卻很容易疏忽掉(diào)。
今(jīn)天,小編將與大家分享電子潔(jié)淨室都有(yǒu)哪些汙(wū)染源。
電子潔淨室汙染因素:
一、電磁噪聲
通過(guò)大電流(liú)的氧化爐(lú)等設備的電(diàn)纜和(hé)反複控製通斷的電磁開(kāi)關,高頻振蕩等產生的電磁噪聲,影響電子束掃描設備的掃描精度。其影(yǐng)響程度與發生源的距離成反比。
二、振動
設備內的真空泵電機工作時會把振動經地板傳遞到(dào)微細加工設備和顯微(wēi)鏡等精密設備儀器上(shàng),影(yǐng)響它(tā)們的工作精度。
應在振源和怕受振動(dòng)的設備下安裝空(kōng)氣彈簧減震器,以(yǐ)達到衰減振動的目的。
三、生鏽
酸(suān)用通風罩局部排風(fēng)量不足時,酸霧氣擴散於(yú)室內,腐蝕室內設備的金屬部分,就是不鏽鋼裸露在含氯氣的空(kōng)氣中,也會受腐蝕生(shēng)鏽。
處理酸的最有效的方(fāng)法是采用密閉通(tōng)風罩,保證足夠的局部排風量。
除了上述這些大家熟知的原因之外,器材和設備的搬移和大修施工(gōng)時的汙染問題。
這些汙(wū)染並不隻是由於人的移動造成的,設備移(yí)動也會(huì)揚起(qǐ)已落在地板(bǎn)表麵和器材上的塵埃。
特別是更換設備時養護地板,搬進小工(gōng)具或很多搬運工進出潔(jié)淨室,這些情況會導致室內的懸浮塵埃量比平時大一百倍以上。
對潔淨室局部改造的施工中,通常人在地板下鋪(pù)設管道或者坐(zuò)在地(dì)板上進行作業。這種施工有時切割管道,於是聚氯乙烯管和不鏽鋼等切屑(xiè)粉末(mò)飛揚出來。
所以大修時盡管周(zhōu)圍掛上檔布以養護,但由於施工人員(yuán)進進出出,受汙(wū)染的不僅僅是局部範(fàn)圍,而且全室(shì)都受嚴重汙染。
在潔淨室內(nèi),隻用有人在操作,有(yǒu)設備在運行,就(jiù)會發塵。這些塵(chén)埃並非(fēi)隨著循環氣流為高(gāo)效過濾器(qì)所(suǒ)捕集,一部分塵埃總要積落在地板、牆壁、設備表麵上。應(yīng)清除這些積(jī)塵,以(yǐ)保(bǎo)持潔淨室的清潔。
總體來說,潔(jié)淨區在線(xiàn)監測係統是(shì)十分必要的,可以24小時(shí)監測潔淨區,從而可以及時(shí)發現問(wèn)題,並解(jiě)決。
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