潔淨度如何分級（一）

潔淨度分級

1963年（nián），美（měi）國出（chū）了個潔淨室標（biāo）準FED-STD-209，在這項標準中，按每立方英尺中≥0.5μm粉塵數量的最高允許（xǔ）濃度，將潔（jié）淨室分成若幹級。如100級、10000級（jí）、100000級。長期以來，世（shì）界上許多國家都是按此方法分（fèn）級，我國也不例外。 1999年，國際標準化組織ISO頒布了一項國際標準《ISO14644-1潔淨（jìng）室與受控潔淨環境，第一部分：空氣（qì）潔淨度（dù）分級》，標（biāo）準中采用了新的分級。2001年，中國新（xīn）頒布的潔淨室（shì）設計標（biāo）準中采（cǎi）用了ISO分級。ISO潔淨度等級以及與（yǔ）傳統分級的對應關（guān）係見下表：
潔淨度分級，ISO14644分級 最高濃度極限（顆粒數/m³） 近似（sì）對應傳（chuán）統規格（gé）
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm
ISO1級 10 2
ISO2級 100 24 10 4
ISO3級 1000 237 102 35 8 1級
ISO4級（jí） 10000 2370 1020 352 83 10級
ISO5級 100000 23700 10200 3520 832 29 100級
ISO6級 1000000 237000 102000 35200 8320 293 1000級
ISO7級 352000 83200 2930 10000級
ISO8級 3520000 832000 29300 100000級
ISO9級 35200000 8320000 293000 

電子工業和製藥業是與潔淨室關係最密切的（de）兩個行（háng）業，其他行業用到潔淨室時（shí）大都跟著這兩個行業的思（sī）路走。ISO試圖在潔淨室問題上將這兩個行業拉到（dào）一起。ISO標準一出現，電子行業立刻該用ISO標準定義的潔淨室級別，而製藥行業目（mù）前仍沿用老的潔淨級別規定，見下表。我國1998年版GMP規範（fàn）中比前一版多了個30萬（wàn）級。ISO潔（jié）淨室標準化動向見後麵（miàn）的（de）內容。