一、氣流(liú)組織
潔淨室的氣流組織與一般空調房間有所不同,它(tā)要求將最(zuì)幹淨的空氣首先送到操作部位,它的作用(yòng)在於限製和減少對加工物的汙染。為此,在設(shè)計氣流組織時應考慮這些原(yuán)則:盡量減(jiǎn)少渦流,避免將工作區以外的(de)汙染帶(dài)入工作區;盡(jìn)量防止(zhǐ)灰塵的(de)二次飛揚以減少灰塵對工件(jiàn)的(de)汙染機會;工作(zuò)區的氣流要盡量均勻,且其風速要(yào)滿足工藝和衛生要求,當氣流向(xiàng)回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的(de)潔淨度要求,選擇不同的送、回風方式。
二、送風量(liàng)或風速
足夠的通風換氣量(liàng)是為了稀釋和排(pái)除室內汙染空氣(qì),根據不同的潔淨度要求,當潔淨室淨高較高時,適當增加換氣次數。其中,100萬級潔淨室的通風量是按高中(zhōng)效淨化係統考慮[7],其餘均按高效淨化係統考慮;當(dāng)10萬級潔淨室高效過(guò)濾(lǜ)器集中布置在機房或係統末端采用亞高效過濾器時(shí),可適當提高(gāo)換氣次數10-20%。
三、靜壓差(chà)
潔淨室維持一定的正(zhèng)壓是保證潔淨室不受或少受汙染、以維持設計潔(jié)淨度等級必不可少地條件(jiàn)之一(yī)。即便是負壓潔淨室,它也必須有不(bú)低於它潔淨度級別地相鄰(lín)房間或(huò)套間維持一定地正(zhèng)壓,負(fù)壓潔淨室的潔淨度才能得以維持。
潔淨室正壓值是指門窗全部關閉狀態下,室內靜壓大於室外靜壓的數值。它是通過淨化係(xì)統送風量大於回風量和排風量的方法來達到。為了保證(zhèng)潔淨室正壓值,送(sòng)風、回風和排風機最好聯(lián)鎖,係(xì)統開啟時先啟動送(sòng)風機,再啟(qǐ)動回風機和排風機;係統關閉時(shí)先關排風機,再關回風機和送風機,以防止(zhǐ)潔淨室在係統開啟和關閉時受到汙染(rǎn)。
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